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    • 去胶机/GeminiPlasma Asher
    以专业的技术知识，为客户提供不我司专注对于Axcelis(原Eaton/Fusion)公司生产的所有设备的移机，拆机翻新升级,签约技术服务和设备保养，控制线路板及控制器的维修，设备主要部件的保养维修(wafer传送系统，离子加速器等)，操作培训，设备零部件的国产化建议等。低于原厂品质的技术支持，从而降低设备的营运成本。
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    详细介绍

    Gemini Plasma Asher

    .Dual Chamber System

    .Variable Power Supply

    .Dual Uni-Cassette processing

    .100mm- 200mm Wafer Processes

    ·Reliability

    ·Availability >95%

    .MTBF>350 hours

    .MTTR <2 hours

    ·MTBA>200 hours

    .User Interface

    ·Front and read LCD displays

    ·PC front-end allows process variabledata logging,error message storage.on-line service logs, andwafer tracking


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