GPS固胶机/GeminiPhotostabilizer - 产品展示 - 产品介绍

GPS固胶机/GeminiPhotostabilizer

我司专注对于Axcelis(原Eaton/Fusion)公司生产的所有设备的移机，拆机翻新升级,签约技术服务和设备保养，控制线路板及控制器的维修，设备主要部件的保养维修(wafer传送系统，离子加速器等)，操作培训，设备零部件的国产化建议等。

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FusionGemini Photostabilizer Specire

.Lamp Settings:

.Low(105 +/-30 mW/cm2)

.High(275 +/- 45 mW/cm2)

.Ultra-low(5-10 mW/cm2)

.Throughput ~ 120 wph Poly/Oxide etch

.(Tf= 170°C,resist </= 1.5 mm)

.Thermal Ramp Rate

.50°C to 240°C

.Thermal Chuck Temperature

.</= 2.5°C/Sec,w/lamp on high

.</= 2.0°C/Sec,w/lamp off

.Particle Specification:

.<0.04 particles per cm2

.>0.3 mm in size at 5mm exclusion

.Size:

·45(115cm)Wide x58(150cm)Deepx94”(240cm)High

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